真空泵作为半导体制造行业的一种主要的生产设备，愈来愈要求安全可靠。英国萨西克斯郡Edwards公司则推出了“福姆勃林”(Fomblin)惰性润滑流体，它不管用在什么场合，同氧接触都是没有问题的。